题目内容

惯性传感器、温度传感器通常要进行真空密封;而对于压力传感器、气体传感器、湿度传感器则要采用开腔式封装。()

查看答案

搜索结果不匹配？点我反馈

更多问题

曝光部分被溶解的光刻胶是()

A. 正胶
B. 负胶
C. 正胶或者负胶

微加工中光刻的目的一般是()

A. 对MEMS器件照相
B. 转移光刻掩膜板上的图形
C. 获得微比例的图片

下列各项中,属于光刻工艺需要满足的要求的有()

A. 图形分辨率的要求
B. 图形转移精度的要求
C. 光刻胶作为掩膜或模具的性能要求

课程中讲到光刻工艺有三个要素,它们分别是()

A. 光刻胶
B. 光刻掩膜板
C. 光刻机
D. 硅片