根据收集系统的不同,曝光分为三种方式,它们分别是()
A. 接近式
B. 远离式
C. 接触式
D. 投影式
提高投影式曝光分辨率的三种主要途径是()
A. 缩短曝光波长
B. 增大K系数
C. 减小K系数
D. 增大数值孔径
在上一题的语境中,改变数值孔径的途径包括()
A. 改变物镜的光学孔径
B. 改变曝光光束的入射角
C. 采用各种短波长曝光技术
D. 改变物镜与光刻胶之间的介质折射率
在MEMS加工中,薄膜沉积需要考虑的问题有()
A. 厚度均匀性
B. 性能一致性
C. 纯度和密度
D. 与衬底良好的粘附性
E. 台阶覆盖
F. 间隙填充
G. 残余应力
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