题目内容

以下关于微梁的描述哪些是正确的()

A. 微悬臂梁厚度减小一半时,弯曲增大一倍
B. 在固支梁上布置应变器可以构成惠斯通电桥
C. 微梁长度减小一半时,弯曲减小8倍
D. 双梁结构可提高面内弯曲的刚度

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以下关于MEMS加速度计的描述哪些是正确的()

A. 需要真空封装
B. 差分电容式器件可以检测加速度的大小和方向
C. 有较大的带宽和较低的灵敏度
D. 可以用一个质量块进行三轴测量

高谐振频率是MEMS器件的重要特性之一。()

微梁的材料包括单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属、聚合物,可用表面牺牲层工艺或体微加工工艺来制作。()

惯性传感器中,加速度计敏感物体的角加速度,陀螺敏感物体的线加速度。()