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微梁的材料包括单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属、聚合物,可用表面牺牲层工艺或体微加工工艺来制作。()

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惯性传感器中,加速度计敏感物体的角加速度,陀螺敏感物体的线加速度。()

微梁结构的设计目标都是尽量增大所需方向的变形,同时增强其他方向的刚度。()

MEMS陀螺检测基座转动产生的科氏力,但是如果在科氏力方向上还存在线加速度,就会对角速度的测量带来干扰,因此需要采用(______ )技术。

硅微麦克风是通过检测膜片的振动来检测声音信号的,为了使幅值和频率的传递不失真,在静态特性上,要使输出信号和输入信号的关系为( )（填两个字）;在动态特性上,要使膜片对不同频率的信号的响应特性是一致的,满足这个条件的信号频率范围称为( )（填两个字）,其上限是由传感器的谐振频率和系统阻尼决定的,为了提高它,在设计上要尽量( )谐振频率,( )系统阻尼（选填“提高”或“降低”）。