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高谐振频率是MEMS器件的重要特性之一。()

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微梁的材料包括单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属、聚合物,可用表面牺牲层工艺或体微加工工艺来制作。()

惯性传感器中,加速度计敏感物体的角加速度,陀螺敏感物体的线加速度。()

微梁结构的设计目标都是尽量增大所需方向的变形,同时增强其他方向的刚度。()

MEMS陀螺检测基座转动产生的科氏力,但是如果在科氏力方向上还存在线加速度,就会对角速度的测量带来干扰,因此需要采用(______ )技术。