题目内容

以下关于MEMS加速度计的描述哪些是正确的()

A. 需要真空封装
B. 差分电容式器件可以检测加速度的大小和方向
C. 有较大的带宽和较低的灵敏度
D. 可以用一个质量块进行三轴测量

查看答案

搜索结果不匹配？点我反馈

更多问题

高谐振频率是MEMS器件的重要特性之一。()

微梁的材料包括单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属、聚合物,可用表面牺牲层工艺或体微加工工艺来制作。()

惯性传感器中,加速度计敏感物体的角加速度,陀螺敏感物体的线加速度。()

微梁结构的设计目标都是尽量增大所需方向的变形,同时增强其他方向的刚度。()