题目内容

以下几种电学元件,在微系统中参量相对增大的是()

A. 电阻
B. 电容
C. 电感

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微尺度流道内的流体,通常为()

A. 层流流动
B. 湍流流动

下列各项中,属于MEMS器件的特点的有()

A. 批量化加工
B. 低成本
C. 微型化
D. 集成化

下列各项中,属于微尺度流体驱动机制的有()

A. 压差
B. 电泳
C. 介电泳
D. 压阻效应

MEMS加工工艺中使用到光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂等基本的半导体加工工艺,而为了得到具有特定机械性能和物理功能的微结构,开发出了一些特殊工艺,例如()

A. 表面牺牲层工艺
B. 体微加工技术
C. 软光刻技术
D. LIGA技术