下列各项中,属于微尺度流体驱动机制的有()
A. 压差
B. 电泳
C. 介电泳
D. 压阻效应
MEMS加工工艺中使用到光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂等基本的半导体加工工艺,而为了得到具有特定机械性能和物理功能的微结构,开发出了一些特殊工艺,例如()
A. 表面牺牲层工艺
B. 体微加工技术
C. 软光刻技术
D. LIGA技术
以下关于微梁的描述哪些是正确的()
A. 微悬臂梁厚度减小一半时,弯曲增大一倍
B. 在固支梁上布置应变器可以构成惠斯通电桥
C. 微梁长度减小一半时,弯曲减小8倍
D. 双梁结构可提高面内弯曲的刚度
以下关于MEMS加速度计的描述哪些是正确的()
A. 需要真空封装
B. 差分电容式器件可以检测加速度的大小和方向
C. 有较大的带宽和较低的灵敏度
D. 可以用一个质量块进行三轴测量
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