题目内容

微尺度流道内的流体,通常为()

A. 层流流动
B. 湍流流动

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下列各项中,属于MEMS器件的特点的有()

A. 批量化加工
B. 低成本
C. 微型化
D. 集成化

下列各项中,属于微尺度流体驱动机制的有()

A. 压差
B. 电泳
C. 介电泳
D. 压阻效应

MEMS加工工艺中使用到光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂等基本的半导体加工工艺,而为了得到具有特定机械性能和物理功能的微结构,开发出了一些特殊工艺,例如()

A. 表面牺牲层工艺
B. 体微加工技术
C. 软光刻技术
D. LIGA技术

以下关于微梁的描述哪些是正确的()

A. 微悬臂梁厚度减小一半时,弯曲增大一倍
B. 在固支梁上布置应变器可以构成惠斯通电桥
C. 微梁长度减小一半时,弯曲减小8倍
D. 双梁结构可提高面内弯曲的刚度