题目内容

提高投影式曝光分辨率的三种主要途径是()

A. 缩短曝光波长
B. 增大K系数
C. 减小K系数
D. 增大数值孔径

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更多问题

在上一题的语境中,改变数值孔径的途径包括()

A. 改变物镜的光学孔径
B. 改变曝光光束的入射角
C. 采用各种短波长曝光技术
D. 改变物镜与光刻胶之间的介质折射率

在MEMS加工中,薄膜沉积需要考虑的问题有()

A. 厚度均匀性
B. 性能一致性
C. 纯度和密度
D. 与衬底良好的粘附性
E. 台阶覆盖
F. 间隙填充
G. 残余应力

物体微型化以后,其表面效应会相对 ,而体积效应则相对。选填“增强”或“减弱”

微结构通常具有更的谐振频率,这意味着器件具有更的工作频率范围。(选填“高”、“低”、“宽”或“窄”)