题目内容

在MEMS加工中,薄膜沉积需要考虑的问题有()

A. 厚度均匀性
B. 性能一致性
C. 纯度和密度
D. 与衬底良好的粘附性
E. 台阶覆盖
F. 间隙填充
G. 残余应力

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物体微型化以后,其表面效应会相对______ ,而体积效应则相对______ 。选填“增强”或“减弱”

微结构通常具有更______ 的谐振频率,这意味着器件具有更______ 的工作频率范围。(选填“高”、“低”、“宽”或“窄”)

驱动微尺度流道内的流体需要更______ 的压差。

可以集成在智能手机中并用于投影的微机电模块是()

A. 微麦克风和扬声器
B. 压力传感器
C. 微扫描镜阵列
D. 惯性传感器

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