A. 厚度均匀性 B. 性能一致性 C. 纯度和密度 D. 与衬底良好的粘附性 E. 台阶覆盖 F. 间隙填充 G. 残余应力
A. 微麦克风和扬声器 B. 压力传感器 C. 微扫描镜阵列 D. 惯性传感器