制备SOI材料的方法中,哪种方法只能制取薄硅层(0.1~0.4μm)和薄埋氧层(0.1~0.4μm)材料( )
A. SDB法
B. SIMOX法
C. Smart Cut法
D. ELTRAN法
晶体生长时,溶液—固相转变的热力学条件是( )
A. 有一定的过饱和度
B. 有一定的过冷度
C. C1 > C0
D. P1 > P0
从有效分凝系数公式中可知,当f<
A. 分凝效果不明显
B. Keff趋向于1
C. Keff趋向于K0
能使材料熔点上升的杂质,△T=TL-Tm >0(TL体系平衡熔点;Tm纯组分熔点), ( )
A. K0 < 1 ,提纯时杂质向头部集中
B. K0 < 1 ,提纯时杂质向尾部集中
C. K0 >1 ,提纯时杂质向头部集中
D. K0 > 1 ,提纯时杂质向尾部集中