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基于可变电容器的微传感器需要避免塌陷效应,而基于可变电容器的微执行器则可利用塌陷效应。()

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在基于梳状叉指电容器的静电微执行器中,通常采用的是改变梳指间距的工作方式。()

以下曝光方式中,可以缩小成像的是()

A. 接触式曝光
B. 接近式曝光
C. 投影式曝光

N型硅可以通过掺杂()得到

A. 硼原子
B. 磷原子
C. 以上两者之一

PECVD之所以很常用,是因为它提供了()

A. 好的附着力
B. 一个简单的过程
C. 比较低的操作温度