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微压阻式压力传感器中,金属应变器适合布置成半桥,半导体应变器适合构成全桥。()

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基于平行平板电容器的静电微执行器的可动极板只能沿着垂直于平板的法向被驱动。()

基于可变电容器的微传感器需要避免塌陷效应,而基于可变电容器的微执行器则可利用塌陷效应。()

在基于梳状叉指电容器的静电微执行器中,通常采用的是改变梳指间距的工作方式。()

以下曝光方式中,可以缩小成像的是()

A. 接触式曝光
B. 接近式曝光
C. 投影式曝光

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