以下关于梳状叉指型微执行器的描述,哪些是正确的?()
A. 利用的是横向静电力的作用
B. 输出位移仅由驱动电压决定
C. 可以实现面内和面外的偏转
D. 直线电机的弹簧要有抗法向弯曲的刚度
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无阀微泵的设计中需要使得液滴可控,需要分析的因素包括()
A. 液滴形成的机制
B. 响应频率
C. 堵塞问题
D. 串扰问题
以下关于压电薄膜或单元的描述,哪些是正确的?()
A. PZT薄膜的压电效应可能在高温下消失
B. 氮化铝薄膜的极化是在薄膜制备过程中获得的
C. 压电单元是多层膜体系,需要补偿应力梯度
D. 氧化锌是压电材料,也是半导体材料
湿法腐蚀由于是基于化学反应的刻蚀工艺,所以都是各向同性的。()
在光刻工艺的步骤中,显影后的坚膜可以提高光刻胶图形的抗刻蚀性和粘附性,但是加热过度可能会导致图形变形,从而降低图形转移精度。()
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