题目内容

无阀微泵的设计中需要使得液滴可控,需要分析的因素包括()

A. 液滴形成的机制
B. 响应频率
C. 堵塞问题
D. 串扰问题

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以下关于压电薄膜或单元的描述,哪些是正确的?()

A. PZT薄膜的压电效应可能在高温下消失
B. 氮化铝薄膜的极化是在薄膜制备过程中获得的
C. 压电单元是多层膜体系,需要补偿应力梯度
D. 氧化锌是压电材料,也是半导体材料

湿法腐蚀由于是基于化学反应的刻蚀工艺,所以都是各向同性的。()

在光刻工艺的步骤中,显影后的坚膜可以提高光刻胶图形的抗刻蚀性和粘附性,但是加热过度可能会导致图形变形,从而降低图形转移精度。()

不同PVD工艺中,气化或气体迁移的方式不同,但其在衬底表面凝聚成膜的过程却是相同的,包括吸附、迁移、碰撞、成核、成岛、成膜,此过程中也有部分粒子脱离衬底重新气化。()