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在微液滴形成后可以对液滴进行精准控制,例如裂分、融合、混合、捕获、分选等操作。()

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当电场作用于充满液体的微流道时,电渗和电泳通常是同时发生的。()

表面微加工中的牺牲层被用于()

A. 强化微结构
B. 在微结构中产生必要的几何空间
C. 作为结构的一部分

微系统的应变器中,半导体压阻系数与()有关

A. 半导体晶向
B. 半导体的掺杂类型
C. 半导体的掺杂浓度
D. 半导体形状

任何沉积工艺都会在薄膜中产生应力,应力来源主要包括薄膜生长过程中产生的本征应力,以及由于薄膜与衬底的热膨胀系数不匹配而导致的热应力。()