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由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射,产生不稳定现象,所以在加工过程中,需要利用真空吸力,不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

A. 对
B. 错

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化学加工可以做到多个工件或单个工件个多个表面同时加工。

A. 对
B. 错

什么是平差?

离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

A. 对
B. 错

写出HMDA收率的最关键指标?

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