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什么是平差？

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离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

A. 对
B. 错

写出HMDA收率的最关键指标？

在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。

A. 对
B. 错