从有效分凝系数的BPS公式中可知，当f>>D/δ，分凝效果（ ）
A. 分凝效果不明显
B. 分凝效果明显
C. Keff趋向于K0
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分凝系数K0 < 1的杂质，区熔提纯的时候 ( )
A. 提纯时杂质向头部集中
B. 提纯时杂质向尾部集中
C. 提纯时杂质均匀分布
离子镀成膜条件是（ ）
A．膜材原子的沉积作用超过气体正离子的溅射剥离作用
B．气体正离子的溅射剥离作用超过膜材原子的沉积作用
C．气体正离子的溅射剥离作用等于膜材原子的沉积作用
硅淀积和外延生长中，硅过饱和度升高，则淀积速率（ ）
A．升高
B．降低
C．不变
用Ag做靶材原子时，下列元素做入射离子时，哪个元素的溅射率最高( )
A．S
B．Si
C．Ar
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