下面几种类型的电容式敏感元件中,具有良好的线性关系且能够实现较大线位移的测量的是()
A. 变间隙式电容敏感元件
B. 变介质式电容敏感元件
C. 同轴圆柱变面积式电容敏感元件
D. 平行极板式变面积电容敏感元件
对于变间隙电容式传感器来说,极板间相对位移越小,传感器的线性度()
A. 越差
B. 越好
C. 不变
D. 不能确定
对于变面积电容式传感器来说,在允许的范围内,极板间相对位移越大,传感器的线性度()
A. 越差
B. 越好
C. 不变
D. 不能确定
平行板电容器由于具有结构简单、加工方便等原因,成为微机械传感器中常用的关键器件()