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对于变间隙电容式传感器来说,极板间相对位移越小,传感器的线性度()

A. 越差
B. 越好
C. 不变
D. 不能确定

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对于变面积电容式传感器来说,在允许的范围内,极板间相对位移越大,传感器的线性度()

A. 越差
B. 越好
C. 不变
D. 不能确定

平行板电容器由于具有结构简单、加工方便等原因,成为微机械传感器中常用的关键器件()

电容式传感器具有如下优势()

A. 动态响应好
B. 易受电磁干扰
C. 灵敏度高、分辨率高
D. 非接触测量、结构简单

在电容式微机械加速度传感器中,为实现较大范围的加速度参数检测,最优选取的方式为()

A. 变间隙电容式式加速度传感器
B. 变面积电容式加速度传感器
C. 变介质电容式加速度传感器
D. 上述三者都可以