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论述题 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关?淀积速率的测量采用什么办法?

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论述题 对RTP来说,很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后,滑移现象变得更为严重,这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的?

水平切片不能够识别断层。()

A. 对
B. 错

简答题 OLT集中设置、分散设置的优劣势分析。

简答题 冷轧生产中,初退火、中间退火和成品退火的目的各是什么?

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