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金属或半导体在发生应变时,其电阻或电阻率会发生变化,因此可以用金属或半导体来制作应变检测器。在微系统中就是采用金属或半导体应变片,并把应变片贴在被测结构表面进行应变检测。()

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微压阻式压力传感器中,金属应变器适合布置成半桥,半导体应变器适合构成全桥。()

基于平行平板电容器的静电微执行器的可动极板只能沿着垂直于平板的法向被驱动。()

基于可变电容器的微传感器需要避免塌陷效应,而基于可变电容器的微执行器则可利用塌陷效应。()

在基于梳状叉指电容器的静电微执行器中,通常采用的是改变梳指间距的工作方式。()

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