A. 对 B. 错
A. 极紫外光光刻 B. 电子束光刻 C. 离子束光刻 D. 浸润式光刻
A. 接触式曝光 B. 接近式曝光 C. 投影式曝光 D. 浸润式曝光
A. 光刻胶黏度 B. 旋转速度 C. 抗蚀性 D. 分辨率