划片划好放入氮气柜待加工的晶圆必须注意()
A. 摆放整齐端正
B. 确保卡物不分离且流程卡
C. 晶圆管制卡必须装入塑料袋后方可放入
D. 晶圆提篮的卡环必须卡上
E. 注意氮气流量阀门是否打开
加热器与镜片距离为()CM。
A. 10-12
B. 10-10
C. 10-15
D. 5-13
晶圆在传递过程中应注意()
A. 双手水平提取避免倾斜和震动
B. 卡物不分离
C. 卡环必须卡上
D. 最多提两个提篮的产品
德国加硬机药水冷却机的温度应控制为()℃。
A. 9±0.5
B. 8±0.5
C. 6±0.5
D. 7±0.5