(6)半导体气敏传感器按照半导体变化的物理性质可以分为( )和( )两种。 ______
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(5)半导体式气敏传感器按照结构可以分为( )、( )、( )等。 ______
(4)气敏传感器主要参数有( )、响应时间、( )、( )、( )等。 ______
(3)气敏传感器按工作原理可以分为半导体式气敏传感器、高分子气敏传感器、振子式气敏传感器、( )、( )、( )等。 ______
(2)气敏传感器可以通过电路控制系统对气体进行( )、( )、( ),也可以通过接口电路组成自动控制系统。 ______