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电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定。

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像散是由于入射电子波长（或能量）的非单一性所造成的。

通过增大球差系数Cs可提高电磁透镜的分辨率。

通过提高加速电压可以提高电磁透镜的分辨率。

电磁透镜的像差包括球差、像散和色差。