CZ法工艺过程一般由烤晶、______ 、______ 、______ 、______ 、收尾组成。
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气—固相转变的热力学条件是： ______ ；熔—固相转变的热力学条件是： ______ 。
当△T=TL-Tm ＜0(TL体系平衡熔点；Tm纯组分熔点), CS＜CL, K0 ______ 1，提纯时杂质向 ______ 集中；当△T=TL-Tm ＞0, CS ＞CL, K0 ______ 1，提纯时杂质向 ______ 集中。
SC-1清洗液（APM）由 ______ 、 ______ 、 ______ 化学试剂组成。
SOI结构材料的主要制备方法有：______ 、______ 、______ 、______ 、
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