题目内容

在MEMS中,掺杂工艺主要有扩散和离子注入两种方式,以下哪些是扩散掺杂的特点()

A. 设备简单、成本低
B. 大批量
C. 是高温工艺,不能直接用光刻胶图形作为掩模
D. 掺杂浓度和深度不能精确控制

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A. 膜片弯曲平动化
B. 电容检测线性化
C. 提高谐振频率
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A. 位移
B. 速度
C. 流体压强

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D. 微尺度的流动中,毛细数较小时,粘性力占主导作用;毛细数较大时,界面张力则起主要作用

A. 自然扩散
B. 设计T形或Y形的微流道,在两种流体的接触面上实现混合
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D. 利用流动聚焦进行混合