(5)电感式传感器是利用线圈( )的改变来实现测量的一种器件或装置,通常可分为( )、( )与( )等三种类型。 ______
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(4)对电容式传感器,按照影响电容量变化的因素不同可分为( )、( )与( )等三种类型。 ______
(3)电阻应变式压力传感器测量应变时常采用( )电路,常用的驱动方式有( )与( )两种。 ______
(2)金属应变片主要有( )和( )两种结构形式。 ______
(1)金属应变片主要是基于金属的( )进行工作,扩散硅压力传感器的工作原理是基于( ),压电式传感器是基于( )原理进行工作的。 ______