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样品中不同位向的晶体的衍射条件（位向）不同而造成的衬度差别称为衍射衬度。

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电子探针的线分析主要用于分析界面处的元素扩散；面分析主要用于分析合金的成分偏聚或用于显示相的形状、尺寸和分布。

两种常见的波谱仪有直进式波谱仪和回转式波谱仪。

电子探针的信号检测系统是X射线谱仪，用来测定特征波长的谱仪叫做波谱仪，用来测定X射线特征能量的谱仪叫做能谱仪。

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